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EPK測厚儀

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EPK測厚儀技術(shù)參數(shù)

 


探頭 
特性

F1.5,N0.7,F(xiàn)N1.5

F2

F5,N2.5,F(xiàn)N5

F15

F

N

F

F

N

F

EPK測厚儀測量范圍

0-1.5mm

0-0.7mm

0-2mm

0-5mm

0-2.5mm

0-15mm

使用范圍

小工件,薄涂層,跟測量支架一起使用

粗糙表面

標準探頭,使用廣泛

厚涂層

測量原理

磁感應(yīng)

電渦流

磁感應(yīng)

磁感應(yīng)

電渦流

磁感應(yīng)

信號處理

探頭內(nèi)部32位信號處理(SIDSP)

±(1μm 0.75%讀值)

±(1.5μm 0.75%讀值)

±(5μm 0.75%讀值)

重復(fù)性

±(0.5μm 0.5%讀值)

±(0.8μm 0.5%讀值)

±(2.5μm 0.5%讀值)

低端分辨率

0.05μm

0.1μm

1μm

zui小曲率半徑(凸)

1.0mm

1.5mm

5mm

zui小曲率半徑(凹,外置探頭)

7.5mm

10mm

25mm

zui小曲率半徑(凹,內(nèi)置探頭)

30mm

30mm

30mm

zui小測量面積

Φ5mm

Φ10mm

Φ25mm

zui小基體厚度

0.3mm

40μm

0.5mm

0.5mm

40μm

1mm

連續(xù)模式下測量速度

每秒20個讀數(shù)

單值模式下zui大測量速度

每分鐘70個讀數(shù)

SIDSP技術(shù)詳解

MiniTest 720/730/740涂層測厚儀

-創(chuàng)新的SIDSP(探頭內(nèi)部數(shù)字信號處理)技術(shù)提升了測量的性

-測量范圍達15mm,可更換F、N或FN探頭,供內(nèi)置或外接探頭使用

-FN探頭自動識別F(鐵磁性)或N(非磁性)基體,操作方便不易出錯

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